迹量公司成立于2022年11月，由研究院与中国科学院重庆绿色智能技术研究院王金玉研究员团队联合创建，注册资本2000万元。迹量公司致力于纳米3D光学检测技术研发与产业化，其核心团队掌握微米、纳米精度高速高分辨率3D光学层析成像技术，突破了纳米级超分辨率工业检测国际技术封锁，成功研制高速白光干涉轮廓测量模组及设备、30nm超分辨率缺陷量测模组及设备等3D光学检测设备（AOI），与国内多家大型企业达成合作。